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Parylene涂敷系统PDSV60
简介：

Parylene是一种保护性高分子材料，使用真空气相沉积工艺形成保护膜，现已广泛应用到各个领域，包括电路、电路组件和元器件、微电子机械系统等。微米级涂层能对印制电路组件的表面提供非常可靠的防护，既不会对基材形成伤害，而且有利于元器件散热。Parylene真空涂敷系统采用压力闭环控制沉积过程，自动结合力增强装置，保证Parylene沉积质量及一致性。

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主要功能
主要功能

  • 自动和手动双操作模式，便于工艺试验和批量生产
  • 涂敷过程闭环控制，保证涂覆的质量和一致性
  • 联合控制温度和压力，可消除初期加热时可能产生的过冲
  • 增加系统柔性控制功能，满足特殊涂敷要求及试验
  • 全计算机控制，Windows操作系统
  • 图形化用户界面，操作简便，设备运行状态显示直观
  • 自动蒸涂（AP）装置实现“硅烷－耦联剂”的自动蒸涂
  • 不锈钢电抛光工艺沉积腔，坚固耐用，容易脱膜
  • 沉积腔配有导流板，使腔内气体分布均匀，保证涂敷均匀性
  • 蒸发阀装置可控制Parylene从蒸发到热裂解室的过程
  • 运行状态指示灯塔显示设备运行状态
  • 通过参数和报警设置对涂敷过程进行监控和保护

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